螺杆真空泵的发展
发表日期:2019-05-27 浏览次数:2024
20世纪90年代,随着化工制药行业、半导体工业和液晶显示器制造工艺的不断发展,对清洁真空环境的要求越来越高,传统的油封式机械泵的返油问题日益尖锐 ,急需一种运行稳定可靠,且抽气腔内完全无油的新型真空泵,干式螺杆真空泵顺应而生。1890年,美国麻省的Warren公司发明了全球第一台双螺杆泵,荷兰的Houttuin公司于1929年发明了欧洲第一台双螺杆泵。其具有结构简单紧凑,运行稳定可靠,可直排大气,抽气腔内完全无油等特点。
源于螺杆压缩机的多头转子型线起步较早,有的厂家直接用螺杆压缩机的转子型线用在真空泵上使用。日立公司很早就把4-6头螺杆转子型线用在真空泵上,韩国LG公司的真空泵目前也使用多头转子型线,由于两啮合转子接触线的顶点不能达到阴、阳转子气缸孔的交线,在接触线顶点和机壳的转子气缸孔之间,会形成一个空间曲边三角形,也就是泄漏三角形,气体将从压力较高的齿间容积,泄漏至压力较低的邻近齿间容积,由于这个泄漏三角形的存在,导致多头螺杆真空泵的极限真空度较低,加上这类转子加工难度大,需要专用机床,造价昂贵,因而逐步退出螺杆真空泵市场。
为适应市场需求,各公司开始开发单头等螺距转子型线。目前,单头等螺距转真空泵仍占有很大市场。
变螺距螺杆泵是等螺距螺杆泵的升级产品。等螺距螺杆泵由于无内压缩过程,排气温度非常高,如冷却效果不好,会造成转子和机壳变形,影响抽气效果。里奇乐、凯尼和莱宝公司在单头等螺距转子型线基础上均研发出单头变螺距转子型线,并将产品投放市场。最早螺杆真空泵的引导线(螺旋线)为常数,也就是等螺距螺杆,介质(主要是气体) 在泵体内部等体积传输,在排气口压缩,属于外部压缩,能耗和噪声都较高。从能效观点出发,工作气体是可以内部压缩的,在端面型线不变的情况下,通过改变螺旋线的导程实现内部压缩,增大吸气端导程扩大吸气容积,缩小排气端的导程降低气体返流泄漏,提升了排气能力,降低了能耗。
螺杆转子的设计中,最重要的是设计型线,因为转子型线基本决定了螺杆机械的性能好坏。螺杆机械性能的不断提高及其市场份额的不断扩大,是与转子型线的发展密不可分的。
进入二十一世纪一零年代,河北3118云顶集团官网真空在具有二十多年医药化工生产经验的总经理刘学军带领下,吸收国外先进技术和设计理念结合国内实际情况进行创新,研发生产了VP系列立式变螺距螺杆真空泵,推向市场后客户普遍反响较好。3118云顶集团官网真空将秉承精益求精、一丝不苟的工作作风,为用户提供最优化的真空系统解决方案,实现节能、减排、环保、增效的目标。